193nm格蘭-泰勒偏振器 采用由空氣間隙隔開的α-BBO雙折射晶體,消除了粘合劑材料在深紫外波段的吸收問題。單層MgF?減反射膜確保193nm的高透射率,同時保持優(yōu)異的消光性能。該器件具有高激光損傷閾值,是ArF準分子激光光刻和深紫外激光加工等應用中高精度偏振控制的理想選擇。
特征: 空氣隙 接近布魯斯特角切割 高極化純度 深紫外透射 | ![]() |
貨號 :
GTP-193產(chǎn)品產(chǎn)地 :
FuZhou規(guī)格:
材料: | 深紫外材料 |
波長范圍: | 193.368納米 |
消光比: | <1x10-4 |
并行性: | <1 弧分 |
表面質(zhì)量: | 20/10 |
光束偏差: | < 3弧分 |
波前失真: | 1/4@632.8nm |
損傷閾值: | >200 兆瓦/厘米2 |
193nm格蘭·泰勒偏振器
零件編號 | 波長范圍(nm) | 消光比 | 視場角(°) | CA fa(毫米) | 外徑(毫米) | 長度±0.1(毫米) |
GTP4006 | 193.368 | <5x10-6 | >6.0 | 5.0 | 25.4 | 13.0 |
GTP4008 | 6.5 | 25.4 | 14.0 | |||
GTP4010 | 8.0 | 25.4 | 16.0 | |||
GTP4013 | 10.0 | 25.4 | 20.0 | |||
GTP4015 | 12.0 | 30.0 | 23.0 | |||
GTP4020 | 18.0 | 38.1 | 28.0 | |||
GTP4025 | 22.0 | 50.8 | 33.0 |
技術(shù)優(yōu)勢 193nm格蘭-泰勒偏振器:
193nm格蘭-泰勒偏振片采用深紫外兼容材料,在193nm波長下具有超低吸收率和優(yōu)異的透射率,可精確保持偏振方向。其氣隙設計可避免深紫外光中粘合劑的吸收干擾,并搭配專用減反射膜以減少反射損失,適用于高功率深紫外激光應用場景。