193nm空氣隙零級(jí)波片，無(wú)粘合層，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強(qiáng)，抗老化性能好。石英耐深紫外腐蝕，適合連續(xù)高功率激光工作，偏振控制穩(wěn)定。
特征： 空氣隙 厚度0.3~1.5mm 高損傷閾值 AR鍍膜并安裝 |  |
貨號(hào) :
WPA-193nm產(chǎn)品產(chǎn)地 :
FuZhou規(guī)格：
材料： | 石英 |
直徑公差： | +0.0, -0.1毫米 |
波前畸變： | λ/8 @ 632.8nm |
延遲公差： | λ/50 |
并行性： | <1角秒 |
表面質(zhì)量： | 20/10 |
通光孔徑： | >80% |
涂層： | S1&S2：R<0.2% @ 波長(zhǎng) |
標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)： | 193納米 |
標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品：
半波片 P/N# | 四分之一波片 P/N# | 直徑（毫米） |
WPA-210-193 | WPA-410-193 | 10.0 |
WPA-212-193 | WPA-412-193 | 12.7 |
WPA-215-193 | WPA-415-193 | 15.0 |
WPA-220-193 | WPA-420-193 | 20.0 |
WPA-225-193 | WPA-425-193 | 25.4 |
WPA-230-193 | WPA-430-193 | 30.0 |
WPA-235-193 | WPA-435-193 | 35.0 |
WPA-250-193 | WPA-450-193 | 50.0 |
193nm空氣隙零級(jí)波片技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
193nm空氣隙波片采用雙石英空氣隙結(jié)構(gòu)，大幅降低材料吸收損耗，在ArF準(zhǔn)分子激光器等深紫外波段具有優(yōu)異的透射率。其空氣隙設(shè)計(jì)避免了鍵合產(chǎn)生的熱應(yīng)力，可承受長(zhǎng)時(shí)間高功率激光工作。結(jié)合離子束拋光技術(shù)，波片實(shí)現(xiàn)了納米級(jí)表面平整度，顯著降低了散射損耗并優(yōu)化了波前質(zhì)量，適用于光刻工藝中的高精度偏振控制。
193nm格蘭-泰勒偏振器 采用由空氣間隙隔開(kāi)的α-BBO雙折射晶體，消除了粘合劑材料在深紫外波段的吸收問(wèn)題。單層MgF?減反射膜確保193nm的高透射率，同時(shí)保持優(yōu)異的消光性能。該器件具有高激光損傷閾值，是ArF準(zhǔn)分子激光光刻和深紫外激光加工等應(yīng)用中高精度偏振控制的理想選擇。 特征：空氣隙接近布魯斯特角切割高極化純度深紫外透射
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193nm格蘭激光棱鏡 采用高光學(xué)均勻性的EUV晶體，在窄帶內(nèi)具有優(yōu)異的偏振穩(wěn)定性。精密封裝減小光路偏差，適用于高精度深紫外激光檢測(cè)。 特征：空氣隙接近布魯斯特角切割高極化純度裝有逃生窗適合高功率應(yīng)用
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洛匈棱鏡 類(lèi)似沃拉斯頓偏振器，將入射光束分離為尋常光線和非尋常光線，但非尋常光線直線透過(guò)，而尋常光線則以一定偏角透過(guò)。 特征： 光路無(wú)膠 高極化純度 適用于中低功率應(yīng)用
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193nm少級(jí)波片是深紫外波段偏振器件，可精確調(diào)控入射光偏振態(tài)，適用于光刻、激光科研等深紫外光學(xué)系統(tǒng)，由耐193nm輻射的特殊材料制成，保障穩(wěn)定性與精度。 特征： 厚度：0.05-0.5mm 高損傷閾值 高延遲均勻性
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193nm空氣隙零級(jí)波片，無(wú)粘合層，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強(qiáng)，抗老化性能好。石英耐深紫外腐蝕，適合連續(xù)高功率激光工作，偏振控制穩(wěn)定。 特征：空氣隙厚度0.3~1.5mm高損傷閾值A(chǔ)R鍍膜并安裝
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VUV激光定制偏振片系列工作波長(zhǎng)為193.368nm，覆蓋160-250nm波長(zhǎng)范圍。該系列產(chǎn)品包括VUV薄晶體偏振片、洛雄偏振片、格蘭偏振片、VUV廣角波片等。這些產(chǎn)品適用于各種激光應(yīng)用場(chǎng)景，憑借其高精度和高可靠性，為真空紫外激光領(lǐng)域提供專(zhuān)業(yè)的偏振解決方案。無(wú)論是科研還是工業(yè)應(yīng)用，都能滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)光學(xué)元件的嚴(yán)苛要求。有需求的客戶(hù)歡迎聯(lián)系我們。
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